傳片功能支持EFEM+ROBOT
全自動(dòng)，CCD成像
全自動(dòng)走位+自動(dòng)對(duì)焦+CCD成像
數(shù)據(jù)可追溯
高精度，高穩(wěn)定性
可配置多工作站點(diǎn)，多機(jī)臺(tái)數(shù)據(jù)的匯總
實(shí)現(xiàn)缺陷的AOI檢測(cè)
關(guān)于視拓
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